ASML当地时间3日宣布，其位于德国柏林的工厂于2日晚间发生火灾，大火在夜间被扑灭，无人受伤，目前就损害或是否会影响其生产计划发表声明还为时过早，公司计划花几天时间进行调查并做出全面评估。
据悉，ASML柏林工厂为ASML的光刻系统生产组件，包括晶圆工作台和夹具，十字线卡盘和镜像块。
《巴伦周刊》援引Wedbush分析师Matthew Bryson评论称，大火可能会限制ASML产量(至少在短期内)，从而阻碍计划中的代工生产。不过从股票角度看，台积电作为当前先进制程的最大供应商（这些制程需要ASML的EUV设备），设备供应限制可能会“创造更好的基础”。
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